华海清科获得一项基板磨削办法专利能有用确认砂轮竖向初始方位做基板磨削
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发布时间:2024-09-06 20:30:53金融界2024年8月21日音讯,天眼查知识产权信息数据显现,华海清科股份有限公司获得一项名为“一种基板磨削办法“,授权公告号CN115922470B,请求日期为2022年12月。
专利摘要显现,本发明公开了一种基板磨削办法,其包含:S1,运用校核设备确认砂轮的竖向初始方位;S2,依据砂轮的竖向初始方位、基板初始面形和基板方针面形,设定基板磨削参数;S3,依据基板磨削参数施行基板磨削加工;其间,过程S1包含:对校核设备的量块进行恒温处理;校核设备的量块移动至吸盘的上侧;主轴组件沿竖直方向朝所述量块移动;主轴组件底部的砂轮抵压于量块,使得量块下部的检测传感器抵压于吸盘外表;检测传感器触发主轴组件中止移动信号,此刻砂轮的方位为砂轮的竖向初始方位。