1.1 惯例刻蚀酸抛设备运用HF/HNO3混合溶液,要到达PERC电池的要求的0.3g以上的减重,平整度抛光度才干满意要求,药耗量添加,本钱添加2-3倍。
1.2 高浓度的含氮、含氟元素排放给废水处理构成极大地担负,光伏电池制作公司环保压力日益增大,运用碱刻蚀抛光是未来的一种趋势。
1.3 选用无机碱(KOH/NaOH)在刻蚀工艺中对分散后硅片反面及边际进行刻蚀抛光,代替传统酸抛光刻蚀工艺,能够获得更好的抛光功能,并下降工艺本钱。
1. 硅片漂浮在HF/HNO3/H2SO4组成的刻蚀液上,去除反面及边际的PSG,一起对反面进行抛光;2. 经过NAOH水溶液去除多孔硅以及中和硅片外表的酸液;3. 经过HF水溶液去除硅片正面的PSG,抛光后反面平整度添加,对长波光的反射添加,促进了投射光的二次吸收,然后进步Isc,一起因为反面比外表积减小,下降了反面复合,且能够进步反面钝化作用。
1. 首先在链式设备中进行反面酸洗,硅片在常温经过反面酸洗设备,酸槽中HF浓度3%~20%,用于去除分散后硅片反面及边际PSG。
2.其次在槽式设备中进行碱抛光,反面抛光运用TMAH、抛光液以及水混合所配溶液对硅片背外表进行抛光,硅片反面及边际被无机碱抛光,用于将反面以及边际PN结经过刻蚀抛光去除。
3. 在槽式碱抛光进程中,因为硅片正面存在PSG,将维护硅片正面的PN结不被无机碱腐蚀抛光,在碱抛光后经过HF溶液再去除正面的PSG,完结整个刻蚀进程。
1. 运用无机碱系统做抛光,无高浓度F、N元素,大幅度下降废水处理本钱,更环保;
3. 电功能增益,经过前后道工艺匹配,能够进步功率0.1%,且现在实验室现已获得了更高的功率增益,未来仍有提效空间;
4. 全体本钱更低,运用碱抛光刻蚀系统,单片本钱较酸抛光低0.1元以上,下降了70%,极大的下降至单晶PERC电池的制作本钱。
1. 现象:碱抛后的硅片,正面边际或边角有显着的过抛现象,正面边际有斑点过抛。
2. 原因剖析:反面 去PSG时,反面部分未触摸HF,导致没有彻底去除反面PSG。
2. 原因剖析:硅片进入反面PSG刻蚀时,分散面放反,导致正面PSG维护层被损坏。
2. 原因剖析:分散面分散PSG不均匀;抛光槽添加剂浓度不行;抛光槽溶液份额失衡,硅酸盐浓度过高;抛光槽溶液寿数到期。
3. 解决方案:调整分散工艺,加厚外表PSG;补加添加剂;排查精排排液状况是否正常,补液是否正常;延伸精排时刻,一起进步添加剂补加份额。
4.7 碱抛光技能因涉及到链式设备与槽式设备,如呈现部分异常状况,调整规矩、办法和现在的惯例单晶PERC制绒工序与刻蚀工序办法类似。
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