金融界2024年7月2日音讯,天眼查知识产权信息数据显现,安集微电子科技(上海)股份有限公司请求一项名为“一种化学机械抛光液“,公开号CN4.9,请求日期为2022年12月。
专利摘要显现,本发明供给了一种化学机械抛光液,包含研磨颗粒,催化剂,多元有机酸,氧化剂,氨基酸和pH调节剂。本发明的长处是:经过契合复合运用两种研磨颗粒,化学机械抛光液具有十分杰出的稳定性,可一起对钨,氮化硅等资料来高速的化学机械抛光。
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