【每日科普】化学机械抛光
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发布时间:2024-10-20 20:23:26CMP 全称为 Chemical Mechanical Polishing,即化学机械抛光,是机械削磨和非物理性腐蚀的组合技能,凭借超微离子研磨效果以及浆料的化学腐蚀效果在被研磨的介质表面上构成光亮的平面。
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