金融界2023年11月30日音讯,据国家知识产权局公告,华海清科股份有限公司获得一项名为“一种基板磨削作业台和基板磨削配备“,授权公告号CN220094034U,请求日期为2023年6月。
专利摘要显现,本实用新型公开了一种基板磨削作业台和基板磨削配备,所述基板磨削作业台包含:装置座;旋转驱动部,其设置于所述装置座的下方;陶瓷吸盘,其设置于所述装置座的上方,以吸合待磨削的基板;所述装置座与陶瓷吸盘的触摸处装备有辅佐结构,其可以在所述触摸处的至少部分区域构成真空,使得陶瓷吸盘严密贴合于装置座的上方。所述基板磨削作业台是陶瓷吸盘真空吸合于装置座上方时,依照设定次序装置固定螺栓,以确保陶瓷吸盘顶面的平整度。此技能可以显着提高基板磨削时的作业精度,加强制作质量。
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