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1.1 惯例刻蚀酸抛设备运用HF/HNO3混合溶液，要到达PERC电池的要求的0.3g以上的减重，平整度抛光度才干满意要求，药耗量添加，本钱添加2-3倍。
1.2 高浓度的含氮、含氟元素排放给废水处理构成极大地担负，光伏电池制作公司环保压力日益增大，运用碱刻蚀抛光是未来的一种趋势。
1.3 选用无机碱（KOH/NaOH）在刻蚀工艺中对分散后硅片反面及边际进行刻蚀抛光，代替传统酸抛光刻蚀工艺，能够获得更好的抛光功能，并下降工艺本钱。
1. 硅片漂浮在HF/HNO3/H2SO4组成的刻蚀液上，去除反面及边际的PSG，一起对反面进行抛光；2. 经过NAOH水溶液去除多孔硅以及中和硅片外表的酸液；3. 经过HF水溶液去除硅片正面的PSG，抛光后反面平整度添加，对长波光的反射添加，促进了投射光的二次吸收，然后进步Isc，一起因为反面比外表积减小，下降了反面复合，且能够进步反面钝化作用。
1. 首先在链式设备中进行反面酸洗，硅片在常温经过反面酸洗设备，酸槽中HF浓度3％～20％，用于去除分散后硅片反面及边际PSG。
2.其次在槽式设备中进行碱抛光，反面抛光运用TMAH、抛光液以及水混合所配溶液对硅片背外表进行抛光，硅片反面及边际被无机碱抛光，用于将反面以及边际PN结经过刻蚀抛光去除。
3. 在槽式碱抛光进程中，因为硅片正面存在PSG，将维护硅片正面的PN结不被无机碱腐蚀抛光，在碱抛光后经过HF溶液再去除正面的PSG，完结整个刻蚀进程。
1. 运用无机碱系统做抛光，无高浓度F、N元素，大幅度下降废水处理本钱，更环保；
3. 电功能增益，经过前后道工艺匹配，能够进步功率0.1%，且现在实验室现已获得了更高的功率增益，未来仍有提效空间；
4. 全体本钱更低，运用碱抛光刻蚀系统，单片本钱较酸抛光低0.1元以上，下降了70%，极大的下降至单晶PERC电池的制作本钱。
1. 现象：碱抛后的硅片，正面边际或边角有显着的过抛现象，正面边际有斑点过抛。
2. 原因剖析：反面 去PSG时，反面部分未触摸HF，导致没有彻底去除反面PSG。
2. 原因剖析：硅片进入反面PSG刻蚀时，分散面放反，导致正面PSG维护层被损坏。
2. 原因剖析：分散面分散PSG不均匀；抛光槽添加剂浓度不行；抛光槽溶液份额失衡，硅酸盐浓度过高；抛光槽溶液寿数到期。
3. 解决方案：调整分散工艺，加厚外表PSG；补加添加剂；排查精排排液状况是否正常，补液是否正常；延伸精排时刻，一起进步添加剂补加份额。
4.7 碱抛光技能因涉及到链式设备与槽式设备，如呈现部分异常状况，调整规矩、办法和现在的惯例单晶PERC制绒工序与刻蚀工序办法类似。
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